提供標(biāo)準(zhǔn)化模型和流程管理方法,可靈活管理多種設(shè)備、產(chǎn)品。通過nAPC可以除去工藝中的各種干擾,并能夠?qū)崟r反映設(shè)備狀態(tài),確保穩(wěn)定性和最佳的工藝狀態(tài)。
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產(chǎn)品功能
1、Parameter 管理: 提供管理各設(shè)備型號以及設(shè)備參數(shù)的功能
2、APC Model 管理: 提供提升產(chǎn)線工程師業(yè)務(wù)效率的標(biāo)準(zhǔn)化APC Model建模功能
3、Formula 管理: 提供靈活的配置功能,使得Formula的建模和管理變得更加便捷
4、APC 歷史: 提供通過APC Model運(yùn)算結(jié)果的查詢功能
5、APC 結(jié)果趨勢: 提供APC參數(shù)運(yùn)算結(jié)果的查詢趨勢功能
6、參考 Lot 過濾: 提供查詢無法作為參考Lot的過濾信息的功能
7、系統(tǒng)信息管理:提供系統(tǒng)管理相關(guān)功能
8、管理員功能管理:提供管理員相關(guān)功能
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、結(jié)構(gòu)化的APC模型
? 提供標(biāo)準(zhǔn)化建模功能,無需考慮工藝,可直接管理R2R模型并應(yīng)用
? 如nAPC無法提供最佳狀態(tài),則提供多種控制方法,確保工藝流程安全地進(jìn)行
2、 靈活的 Formula 結(jié)構(gòu)
? nAPC提供靈活的建模方案,以配置APC計(jì)算所需的各種Formula
? 可輕松連接建模的Formula組和R2R參數(shù)
? 直觀的Formula應(yīng)用情況管理方案
3. 簡單便捷的參數(shù)管理
? 通過簡單直觀的參數(shù)管理模型,可以便捷地管理各種設(shè)備類型
4. 提升管理及業(yè)務(wù)效率
? 提供便利的管理方法,提升業(yè)務(wù)效率
運(yùn)用效果(產(chǎn)品效益)
1. 工藝優(yōu)化提良率
? 提升良率,優(yōu)化Litho、CMP等工藝,提高穩(wěn)定性,并提高良率來增加產(chǎn)量
2、管理降成本增效
? 減少管理成本提供對多種設(shè)備、產(chǎn)品、工程的APCModel和Data管理,減少物理、人力資源的使用
3、自動化提高效率縮周期
? 通過優(yōu)化生產(chǎn)工藝流程提高自動化水平,同時縮短生產(chǎn)周期,提高生產(chǎn)效率
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