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產(chǎn)品功能

在晶圓生產(chǎn)過(guò)程中，等待進(jìn)機(jī)臺(tái)運(yùn)行的時(shí)間里，晶圓被存儲(chǔ)在FOUP內(nèi)部。隨著時(shí)間的推移，晶圓會(huì)釋放出一些對(duì)良率產(chǎn)生影響的危害物。同時(shí)，F(xiàn)OUP本身的材質(zhì)和環(huán)境也會(huì)釋放出水分子和其他危害物，進(jìn)一步影響晶圓的良率。

N2 Purge System透過(guò)FOUP的進(jìn)氣口，持續(xù)將氮?dú)鈱?dǎo)入FOUP內(nèi)，氣體順著出氣口將FOUP內(nèi)部的分子污染物、水氣、氧氣排出FOUP，進(jìn)而能有效的控制FOUP內(nèi)部環(huán)境，以符合晶圓存儲(chǔ)的標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品特色

薄型設(shè)計(jì)，減少影響Fab走道高度

翻蓋設(shè)計(jì)，提高人員維護(hù)便利性，降低設(shè)備安裝維修安全風(fēng)險(xiǎn)

無(wú)后臺(tái)命令，預(yù)設(shè)強(qiáng)制填充，避免產(chǎn)品損失

預(yù)置前清潔與定期自動(dòng)噴嘴清潔，避免Particle掉落噴嘴，保持噴嘴潔凈度

產(chǎn)品效益

有效排除FOUP內(nèi)部的污染物

有效的控制FOUP內(nèi)部的氧濃度與濕度

抑制缺陷

提升產(chǎn)品良率

減少重工、提升Cycle time

減少Q-Time Over