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主要用途及適用范圍

主要用途:

1.用于存放光罩盒,并實(shí)時(shí)監(jiān)控光罩盒狀態(tài)

 2.實(shí)時(shí)顯示光罩盒關(guān)聯(lián)wafer Lot信息

適用范圍:適用于半導(dǎo)體晶圓廠實(shí)時(shí)追蹤光罩盒狀態(tài)

 


工作原理

光罩盒放入貨位后,觸發(fā)行程開(kāi)關(guān)。芯享二號(hào)板檢測(cè)到開(kāi)關(guān)觸發(fā)后,發(fā)送指令給建永模塊,啟動(dòng)天線模組讀取光罩盒上的卡片式標(biāo)簽。讀取到的標(biāo)簽信息返回給芯享二號(hào)板,再次轉(zhuǎn)發(fā)到光罩盒管理系統(tǒng)。光罩盒管理系統(tǒng)可查詢每個(gè)貨位信息,進(jìn)行光罩盒出庫(kù)操作。






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