產(chǎn)品功能
壞品記錄與管控:自動(dòng)記錄前面工序中生產(chǎn)的損壞品在基板中的位置,控制機(jī)臺(tái)跳過(guò)特定的作業(yè)位置。
基板歷史追溯:基板作業(yè)歷史追溯,記錄每個(gè)站點(diǎn)的基板作業(yè)信息,基板作業(yè)前后Die的變化。
機(jī)臺(tái)參數(shù)比對(duì):基板作業(yè)前,比對(duì)機(jī)臺(tái)作業(yè)參數(shù),確?;遄鳂I(yè)時(shí)機(jī)臺(tái)參數(shù)的正確性,提高產(chǎn)品質(zhì)量,節(jié)約成本。
MES聯(lián)動(dòng)確認(rèn):與MES聯(lián)動(dòng),在基板作業(yè)前確認(rèn)基板的批次信息,確認(rèn)機(jī)臺(tái)作業(yè)工站和機(jī)臺(tái),防止跳工序作業(yè)。
數(shù)量卡控:實(shí)時(shí)統(tǒng)計(jì)基板上好品數(shù)量,管控生產(chǎn)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
精細(xì)管理:對(duì)作業(yè)基板管理,管理基板中每顆芯片作業(yè)的好壞,支持人為編輯,防止設(shè)備誤差導(dǎo)致的壞品流出,管控不良產(chǎn)品。
自動(dòng)管控:對(duì)作業(yè)數(shù)量的管控,實(shí)現(xiàn)在MES系統(tǒng)中自動(dòng)進(jìn)行TrackIn和TrackOut操作,節(jié)省人員作業(yè)時(shí)間。
單品追溯:對(duì)Strip和Wafer之間單顆產(chǎn)品的追溯。
產(chǎn)品效益
提高產(chǎn)品質(zhì)量
節(jié)約成本
合理高效管控生產(chǎn)
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